近日，星空官方站网站-星空（中国）所属北方华创集团自主研发的两款MOCVD（金属有机物化学气相沉积）外延设备（型号：Satur N800/Satur V700）顺利通过客户验收，并获得批量重复订单。

据介绍，MOCVD设备是一种利用金属有机化合物进行金属输送的气相外延生长设备，需要在原子尺度上实现复杂材料的纳米精度控制、量子级界面控制，并需具备高真空环境和高精度温控系统，以确保材料的纯度和生长的稳定性。凭借在硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，形成了GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）、SiC（碳化硅）等化合物半导体材料外延设备的系列化产品。

其中，GaN MOCVD概念的设备——Satur N800具备条件大面積不均温度因素场、大超范围固定可手动调节气团场，已经多片式（Batch）大生产量和自动的化选配，要能充分考虑化学物质半导体行业高端电子元器件对概念层类物质、高度和添加不均性的高必须；GaAs MOCVD外延性机械——Satur V700非常成功推动了空气场、室内温度场、副生成物操控等最为关键的技术性，提供高粗糙性、大生产量、低直接费用等其优势；SiC本质装置——MARS iCE115/120S，流程复位简单易行，保护控制合理，开卖后拿到领域具有广泛性被认可。

近年来，经过持续的技术沉淀与创新突破，北方华创实现了硅薄膜外延设备领域4英寸到12英寸全覆盖，产品包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，取得了多项技术创新和产业化成果，累计销售突破千腔，并先后荣获“北京市科学技术进步一等奖”等重量级荣誉。下一步，面向化合物半导体向高集成度、高效能和低能耗发展的趋势，北方华创将以前瞻技术与创新服务为核心，提供全面外延解决方案，助力用户实现技术突破与成本优化，携手产业链伙伴共创产业发展新未来